标题:衬底材料的性质及其表面粗糙度测量轮廓仪-工具思思热99re热在线视频

信息分类:站内新闻   作者:yiyi发布   时间:2014-10-7 17:25:19 将本页加入收藏

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正文:


    薄膜性质可具有更多的再现性,并且其相和组织状态可通过
退火方法即利用回复和再结晶过程加以控制.用这种方法可使非
晶形的薄膜转变为多晶体或单晶体薄膜。在某些情况下,再结晶
退火可改变单晶薄膜的取向或使其变成具有特定织构的多晶薄
膜。

    久久热免费视频和控制薄膜中多晶的及结构的变化问题比大试样复杂得
多。这与某些能影响薄膜再结晶进行的附加因素有关。

    其中最重要的一些是衬底材料的性质及其表面伏态;沉积物
质的表面能和有向性;衬底与薄膜之间结构类型的一致性和热膨
胀系数的差别;薄膜沉积的条件(衬底的温度、薄膜沉积的速
率、典空度等等)。对化合物薄膜,最重要的也是化合物各组份
的挥发性,其挥发性和凝聚点的差别以及薄膜成份与化学99热这里只有精品比
的偏差。

    由于这些附加因索,沉积在衬底的薄膜在退火前可以是各种
状态—从非晶态到单晶—并且与大试样不同的是有相当高的
点缺陷(结构的和化学的)浓度和高的微观应力。

    退火条件即加热温度与加热速度;恒温保持的中间阶段:加
热介质等等,对薄膜结构的影响比对大试样更明显。依靠热蚀坑
而稳定组织在再结晶薄膜中是普通的现象。










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