标题:测量思思热99re热在线视频主要由激光光源、分光镜与两个反射镜所构成

信息分类:站内新闻   作者:yiyi发布   时间:2013-4-17 21:05:15 将本页加入收藏

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测量思思热99re热在线视频主要由激光光源、分光镜与两个反射镜所构成


激光干涉仪是目前业界测量机台几何误差之标準设备,其测量原理是针对三轴机台的廿一个几何误差量,

藉由搭配各种型式之光学镜组,利用不同相位之激光光交会所产生的光强变化进行测量,

激光干涉仪厂皆有推出相关的测量设备产品。以定位误差量测为例,

测量系统主要是由激光光源、一分光镜与两个反射镜所构成,而测量系统之架设方式,

一般为固定分光镜与一反射镜,并将另一反射镜安 

装在待测轴上,如图1所示。激光光在入射分光镜后会分为两道光束,并 

经由两面反射镜将其折回至分光镜,产生干涉条纹。干涉条纹会随着固定 

于待测轴上反射镜之移动产生明暗之变化,透过感测器侦测此变化即可计 

算待测轴之实际移动量,后续只需进一步比较待测轴预先设定之移动量, 

即可获得机台之定位误差。 











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